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    贵州洁净室设计
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    贵州电光净化车间设计方案应注意的问题

    2019-07-27


    贵州电光净化车间设计方案应注意的问题


    贵州万凡环保工程有限公司电子清洁车间工程的主要特点是:1。车间面积大;2.可变性;电子和光学行业的快速技术创新,生产过程的变化,以及车间布局的变化。因此,在贵州电子洁净厂房的设计中,应注意平面上的固定分隔,特别是小分隔。


    电子光学净化车间设计中应注意的问题


    (1)平面由工艺确定。贵州净化工程车间工艺布置应适应电子产品开发的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩大生产的需要。

    (2)主体结构采用大空间大跨度柱网,不采用内墙承重体系。

    (3)电子工业大型洁净厂房中经常采用上技术夹层和下技术夹层的“夹心式”多层结构。

    (4)考虑大型生产工艺和设备的安装维护要求,设置必要的运输走廊和不影响清洁生产环境的安装检修口。

    (5)电子净化车间按二级耐火等级设计。

    (6)特殊气体的储存和分配应与洁净室(区)分开,墙壁的耐火极限不应小于1h,有毒硅烷或其混合气瓶的储存区应至少三面开放。气瓶与周围构筑物或围栏的距离应大于3m,储存区应设置不小于3.5m的雨棚。

    (七)电子净化车间的装饰材料不得使用释放对电子产品有影响的材料;

    (8)电子光学洁净室车间允许空气淋浴间,与一般生物洁净室不同。淋浴间应与洁净工作服更衣室相邻。单人淋浴房Z多可容纳30人。当员工人数超过5人时,应设置侧门。当人数过多或为了缩短通行时间时,也可设置隧道式淋浴房。

    ( 9 )贵州洁净室设计的洁净厂房,为尽量不影响气流的单向性和平行性,采用纯净泪珠形灯具。

    (10)贵州净化车间应根据生产工艺要求设置静电防护环境,以抑制静电的产生,快速、安全地消除静电。

    (11)贵州无尘车间对微振动防护有特殊要求,在工厂环境中应避免使用振动源。

    (12)除一般给排水要求外,电子净化车间超大型集成电


    无尘车间


    电子光学洁净厂房环境参数

    参数数值描述

    截面风速/(m/s)0.3-0.5

    0.2-0.4清洁度1-3级(ISO)洁净室

    清洁度等级4-5(ISO)洁净室

    通风频率/(次/h)50-60


    15-25岁

    10-15清洁度6级(ISO)洁净室

    清洁度7级(ISO)洁净室

    清洁度等级8-9(ISO)洁净室

    静压差/pa>5

    >10.不同级别的洁净室之间以及洁净室和非洁净室之间

    在洁净室和室外绵羊之间

    温度/C.18-22岁


    16-20岁

    根据具体项目要求24-26

    26-28岁

    根据具体项目要求,无工艺要求的生产环境

    人员净化及起居室

    需要工艺时的生产环境

    无工艺要求的生产环境

    人员净化及起居室

    需要工艺时的生产环境

    相对湿度/%

    冬天

    夏季30-50

    根据具体工程要求


    50-70岁

    根据具体项目要求,无工艺要求的生产环境

    需要工艺时的生产环境

    无工艺要求的生产环境

    需要工艺时的生产环境

    新风量/[m3/(人.h)40

    噪声/db(a)<65洁净室单向流和单向流与非单向流共存

    照度/1X 300-500

    200-300非单向流洁净室主要生产室(光刻及低照度显示装置除外)

    其他房间

    照明均匀度0.7

    静电表面电阻率1*105-1*1010一级标准1*105-1*107

    静电体积电阻率1*104-1*109

    地对地漏电电阻*105-1*108

    静电电压小于50(45%相对湿度)4级(ISO)或以上的清洁室

    振动速度

    振动加速度

    振幅

    相对位移是根据工艺或精密设备、仪器的特性或参照国家标准《隔振设计规范》确定的。

    洁净室上方电磁干扰等级4(ISO),洁净室靠近高压输配电设施时尤为重要。

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